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铟单晶炉

  • 产品详细说明
  •  Y45铟单晶炉属硬轴提拉式单晶炉

    通过石墨电阻加热器将铟半导体材料加热溶化。然后用直拉法提纯高纯度半导体材料的专用设备

    主要技术参数

     

    熔料量

    5kg

    炉腔尺寸

    φ450×900mm

    籽晶拉速范围(双向)

    0.1-8mm/min

    籽晶快升/快降

    300mm/min

    籽晶转速范围

    1-50rpm

    籽晶在炉内行程

    600mm

    坩埚快升/快降

    50mm/min

    坩埚转速范围

    1-50rpm

    坩埚行程

    150mm

    加热器最大加热功率

    40KW

    最高加热温度

    800

    电极中心距/数量

    φ350mm(一对/2)

    冷炉的极限真空度

    6.7×10-3Pa