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铟单晶炉
Y45铟单晶炉属硬轴提拉式单晶炉
通过石墨电阻加热器将铟半导体材料加热溶化。然后用直拉法提纯高纯度半导体材料的专用设备
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主要技术参数 |
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熔料量 |
5kg |
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炉腔尺寸 |
φ450×900mm |
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籽晶拉速范围（双向） |
0.1-8mm/min |
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籽晶快升/快降 |
≥300mm/min |
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籽晶转速范围 |
1-50rpm |
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籽晶在炉内行程 |
600mm |
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坩埚快升/快降 |
50mm/min |
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坩埚转速范围 |
1-50rpm |
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坩埚行程 |
150mm |
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加热器最大加热功率 |
40KW |
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最高加热温度 |
800℃ |
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电极中心距/数量 |
φ350mm(一对/2) |
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冷炉的极限真空度 |
6.7×10-3Pa |