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DRF8595单晶硅生长炉

  • 产品详细说明
  • DRF-85/95系列单晶硅生长炉

    一次熔料量更大。可实现从抽真空、加热、籽晶接触、籽晶熔接、缩颈、引细晶、放肩、收肩、等径、收尾、冷却等拉晶过程的全自动控制。该系统配以先进热场和工艺可实现高拉速、低能耗下的生产。从而显著地降低生产成本和提高晶体品质。DRF-95系列是新一代更先进的单晶炉设备。 

     

    主要技术参数

    DRF-85

    DRF-95B

    控制晶体直径

    φ6-8

    φ8-10

    熔料量

    65kg(18"坩埚)

    120kg(22"坩埚)

    主炉筒尺寸

    φ850×1250mm

    φ950×1250mm

    翻板阀通径

    φ260mm

    φ300mm

    副炉室尺寸

    φ280×2000mm

    φ300×2500mm

    籽晶拉速范围/行程

    0.2-8mm/min

    0.2-8mm/min

    籽晶转速范围

    0-30rpm

    0-30rpm

    籽晶快升、降最大速度

     

    400mm/min

    坩埚转速范围

    0-20rpm

    0-20rpm

    坩埚最大升、降行程

    380mm

    450mm/120mm/min

    坩埚升、降速度范围

    0.02-1mm/min

    0.02-1mm/min

    主变压器容量

    190KVA

    190KVA

    电极中心距/数量

    φ436mm/2

    φ500mm/4

    冷炉极限真空度

    2pa

    2pa

    主机重量

    3400kg

    4500kg

    外形尺寸

    1800(L)×1300(W)×6400(H)mm

    2014(L)×1410(W)×7200(H)mm